和呈的HMDS干燥箱其工作流程先是确定烘箱工作温度，典型的预处理流程为：
1、打开真空泵抽真空，待腔内真空度达到某一高真空度后，开始充入氮气；
2、充到达到某低真空度后，再次进行抽真空，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分；
3、然后再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应。
4、当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。
HMDS与硅片反应机理：先加热到100度-200度，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表而成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面，整个反应持续到空间位阻（三甲基硅烷基较大）阻止其进一步反应。
